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“不到百分之四十。”
叶向盛惊呆了，“怎么这么低！”
是啊。
光刻机的发展史那可真是十分曲折，谁能想到在二十一世纪能够做出EUV光刻机，将芯片工艺推进到2纳米的工业明珠。
在七十年代初，还只是产品良品率只有百分之三十多的光刻器械。
在未来的EUV光刻机面前，这个老祖宗那可真是不能再糙汉了。
可光刻机就是这么发展的呀。
从六十年代光刻机出现，到后来声噪一时，五代机器迭代。
一代机，接近式光刻机。
二代机，分步重复式等倍投影光刻机。
三代机，步进式缩小投影光刻机。
四代机，步进扫描式投影光刻机。
五代机极紫外光刻机，也就是EUV光刻机。
徐青青在书中不止一次的看到光刻机的发展史，甚至于对每一代机器都颇是熟悉。
当然这种熟悉，也只是大体上的。
比如说五代机的工程极为浩大，那简直是人类工业史的大联欢。
真正的设备，徐青青并没有见过。
只是对关键技术有所了解而已。
但她的那些了解，其实也只是皮毛罢了。
毕竟那是集结了人类最富有智慧的一帮人的聪明才智，才搞出了EUV光刻机。
科技的迭代，产品的更新。
全部汇聚于此。
那是人类工业与科技的最精萃所在，当之无愧的工业明珠。
此刻，这台诞生于金城军区研究所的接近式光刻机，在未来的五代机面前，就像是一个咿呀学语的小婴孩。
五代机若是狂妄点，大可对前辈们说，“你们一起上，我赶时间。”
前面四代机，都不够五代机一根手指头。
但毫无疑问，这是这个时代最为先进的光刻设备。
而且良品率的提升，意味着这台接近式光刻机已经是一代机的巅峰。
“如果我想要良品率达到95%……”
叶向盛皱了下眉头，“良品率提升只有两个办法，一个是提升晶圆纯度，另一个就是提高光刻机的性能。”
晶圆纯度的提升很有用，但这种有用十分有限，压根不可能让良品率实现质的飞跃。
所以最终还是要提升光刻机的性能。
“我们还缺好镜头。”
叶向盛跟徐青青提出了要求，“现在的镜头用着挺勉强的。”
“没问题，我来解决。”徐青青笑了起来，“还有其他要求吗？你有要求尽管提，我不怕你提要求，我就怕你不吭声。”
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